真空鍍膜技術(shù)的應用時(shí)較早的。20世紀初大發(fā)明家愛(ài)迪生就提出了唱片蠟膜采用陰極濺射進(jìn)行表面金屬化的工藝方法，并于1903年申報了專(zhuān)利，這便是薄膜技術(shù)在工業(yè)上應用的開(kāi)始。但是這一技術(shù)在當時(shí)因受到真空技術(shù)和其他相關(guān)技術(shù)發(fā)展的限制，發(fā)展速度較慢。直到二次世界大戰期間，法西斯德國使這一技術(shù)服務(wù)于戰爭，制備各種軍用光學(xué)鏡片和反光鏡，從而首先使用這一技術(shù)在光學(xué)工業(yè)中得到了迅速的發(fā)展。并且逐漸形成了薄膜光學(xué)，成為光學(xué)的一個(gè)重要分支。

真空鍍膜技術(shù)在電子方面開(kāi)始是用來(lái)制造電阻和電容元件，之后隨著(zhù)半導體技術(shù)在電機學(xué)領(lǐng)域中的應用，又使這一技術(shù)成為晶體管制造和集成電路生產(chǎn)的必要工藝手段。近年來(lái)，隨著(zhù)集成電路向大規模和超大規模集成方向發(fā)展，從而又對真空鍍膜技術(shù)提出了新的要求。因而在電機學(xué)領(lǐng)域中又產(chǎn)生了一個(gè)新的分支—薄膜微電子學(xué)。

表面科學(xué)是在固體物理等許多科學(xué)基礎上發(fā)展起來(lái)的新科學(xué)，其研究對象是各種各樣的表面。真空鍍膜技術(shù)為制造各種各樣的清潔表面提供了手段。特別是20世紀70年代在真空鍍膜基礎上發(fā)展起來(lái)的分子束外延技術(shù)，用他不但可以制備可精確控制的超薄薄膜、原子級平整度的表面、上百層的疊加膜，而且還可以控制薄膜的成分和配比。這些薄膜的制備均為科學(xué)的研究和發(fā)展提供了充分的條件。

真空鍍膜技術(shù)在其他科學(xué)領(lǐng)域中的應用亦很廣泛。例如，電子顯微鏡的標本必須經(jīng)過(guò)真空鍍膜處理才能觀(guān)察；激光器需要鍍上精密控制的光學(xué)膜層才能使用；太陽(yáng)能利用也與真空鍍膜技術(shù)息息相關(guān)。

目前，幾乎任何材料都可以通過(guò)真空鍍膜工藝涂覆到其他材料的表面上，這為真空鍍膜技術(shù)在各種工業(yè)領(lǐng)域中的應用開(kāi)辟了更加廣闊的前景。

用真空鍍膜技術(shù)代替傳統的電鍍工藝，不但能節省大量的膜材和降低能耗，而且還會(huì )消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染。因此國外在鋼鐵零件涂鍍防腐層和保護膜方面，已采用真空鍍膜工藝來(lái)代替電鍍工藝。在冶金工業(yè)中，為鋼鐵和帶鋼加鍍鋁防護層已很普遍；在機械制造業(yè)中，真空鍍膜工藝用于改變改變某些加工工藝和節約貴重的原材料，如飛機渦輪發(fā)動(dòng)機的葉片已經(jīng)不用價(jià)格昂貴的耐高溫金屬制造，而是采用價(jià)格低廉易加工材料，成形后再用真空鍍膜的方法在葉片表面上加鍍耐高溫，耐腐蝕的防護層。再如汽車(chē)制造業(yè)中采用塑料制品金屬化零件代替各種金屬零件，既減輕了汽車(chē)的重量又節約了燃油的消耗。在金屬切削刀具上加鍍TiN硬膜可使用刀具壽命提高3～6倍，從而節省了大量的高速鋼材。

塑料薄膜采用真空鍍膜的方法加鍍鋁等金屬膜，再進(jìn)行染色，可得到用于工業(yè)中的裝飾品薄膜。

近年來(lái)，建筑工業(yè)上玻璃鍍膜已經(jīng)十分盛行，因為這種不但可以美化建筑物，而且可以節約能源，這是因為在玻璃上鍍上反射膜可以使低緯度地區房屋避免炎熱的陽(yáng)光直射到室內，而節省空調費用。玻璃上鍍?yōu)V光膜和低輻射膜，可使陽(yáng)光射入，而作為室內熱源的紅外輻射又不能通過(guò)玻璃輻射出去，這在高緯度地區也可以達到保溫節能的目的。